[发明专利]基于模态驱动的蛛网型热压机平台配平装置及其配平方法

摘要

本发明提供基于模态驱动的蛛网型热压机平台配平装置及其配平方法，其包括蛛网型配平模块，平台监测模块。其配平模块包括蛛网型结构装置，压电陶瓷片，固定块，模态驱动装置。通过模态驱动蛛网型结构进行位移调整来实现平台的配平。平台观测模块包括激光测距装置。通过四组激光传感器进行信号处理用于实时的对平台位置的监控。通过对四组数据的处理来判断平台是否配平。发明所设计的平台对准装置能够在微米级别的条件下进行精确配平，并且因采用了模态驱动方式，能够将配平装置进行简化，不需要传统意义上的止动装置。大大降低了机械结构的复杂性。具有体积小，工作精度高，结构装置简单的优点。适用于微米级别的平台配平要求。