[发明专利]测量逆投影光路放大倍率的方法及建立MTF曲线的方法有效
| 申请号： | 202010825866.1 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111982472B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 孙宏 | 申请（专利权）人： | 福州锐景达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 | 代理人： | 陈智雄 |
| 地址： | 350000 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及十字丝图案单元、分划板、测量逆投影光路放大倍率的方法和采用所述的十字丝图案单元建立被测镜头的MTF曲线二维坐标图的方法。它包括设置在十字丝图案单元中部的十字丝图案，在十字丝图案分隔成的四个象限中均设有一个定位点，且相邻两个象限中的定位点的连线均平行于十字丝图案的其中一根线。本发明由于该十字丝图案单元中设有定位点，方便通过测量定位点的距离来确定测量的共轭光路的放大倍率；该测量放大倍率的方法，能解决在线测量MTF默认同一批次的待测镜头的放大倍率相同带来误差的难题，使得MTF的结果计算可以使用真实的放大率而不是批量预设的放大率数值，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 投影 放大 倍率 方法 建立 mtf 曲线 | ||
【主权项】：
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