[发明专利]一种基于磁光效应的加速度传感器在审
| 申请号： | 202010777090.0 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111896774A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093;G01P15/105 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中山市中山火炬开发区中心城区港*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于磁光效应的加速度传感器，磁性材料层置于基底上。凹槽设置在磁性材料层的表面，凹槽为一维周期性结构。弹性材料部设置于凹槽的底部，贵金属材料部的底部设置在凹槽内、弹性材料部的上面，贵金属材料部的顶部突出磁性材料层。应用时，入射光倾斜照射贵金属材料部，探测贵金属材料部的反射光，根据磁光效应的强度变化确定加速度探测。探测加速度时，贵金属材料部挤压弹性材料部，贵金属材料部相对于磁性材料层产生移动，增强了磁光效应，本传感器具有加速度探测灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁光效应 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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