[发明专利]基于MIS-HEMT的边界陷阱的能量分布测试方法及系统有效
| 申请号： | 202010776999.4 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112098790B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 高汭;贺致远;陈义强;林晓玲;路国光 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杨明莉 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MIS‑HEMT的边界陷阱的能量分布测试方法及系统。其中所述方法包括：对所述MIS‑HEMT的栅极施加正向电压应力进行充电，至充电完毕；通过多个放电过程对所述MIS‑HEMT进行充分放电，其中在每一放电过程中均执行以下步骤：降低施加在所述MIS‑HEMT的栅极的正向电压应力；采用spot‑Id sense技术监测所述MIS‑HEMT的放电过程，获取所述MIS‑HEMT的当前电流；根据所述当前电流以及MIS‑HEMT的初始电流，确定电流改变量，并根据所述电流改变量确定所述MIS‑HEMT的当前阈值电压漂移量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mis hemt 边界 陷阱 能量 分布 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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