[发明专利]一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法

摘要

本申请提供了一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置，所述装置包括测试主机，和与所述测试主机电连接的电阻率测试组件，所述电阻率测试组件包括：用于承载石墨坩埚的底座，和沿高度方向延伸的测试杆，所述测试杆上设有四个分别与测试主机电连接且等距离间隔分布的电接触件，所述电接触件的接触端朝向石墨坩埚，并且位于同一直线上；所述测试杆至少设置两个，并且沿石墨坩埚的周向均匀分布。本申请提供的石墨坩埚电阻率测试装置，在不移动待测石墨坩埚和测试杆的情况下即可测试获得石墨坩埚外壁多个位置的电阻率，提高测试精度，特别适合高纯度石墨坩埚电阻率的测试。