[发明专利]一种铜腐蚀液用生产线及其生产方法在审
| 申请号： | 202010716163.5 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111871294A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 殷金虎;李虎宝;李冬明 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/06 | 分类号： | B01F13/06;B01F7/18;B01F15/00;B01F15/02;B01F15/06;B01F3/22;C23F1/18 |
| 代理公司： | 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 214420 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜腐蚀液用生产线及其生产方法，所述铜腐蚀液生产方法的生产步骤为：抽真空、加乙酸、加硝酸、加磷酸、加表面活性剂、过滤、检验和储存分装；所述包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）。本发明生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 生产线 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
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