[发明专利]压电复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010675725.6 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111916555A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 向远方 | 申请（专利权）人： | 欧菲微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/18;H01L41/33 |
| 代理公司： | 广州德科知识产权代理有限公司 44381 | 代理人： | 万振雄;林玉旋 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及复合薄膜制备技术领域，具体公开了一种压电复合薄膜及其制备方法。该制备方法包括:制备内径为300μm‑500μm、长度为300μm‑1000μm的PZT纤维，并使PZT纤维结晶成相；将结晶成相的PZT纤维与有机聚合物按照质量比为1:1至1：4复合，并将PZT纤维和有机聚合物搅拌均匀并形成浆料；将浆料的表面刮平后制备得到压电体；将压电体进行纵向拉伸得到PZT纤维取向一致的压电块；对压电块的表面进行切割；对切割后的压电块进行极化以制备得到压电复合薄膜。该制备方法可以使PZT纤维完全极化，提高复合薄膜的压电性能，另外PZT纤维均匀分散在有机聚合物中还可以使得压电复合薄膜兼具可绕性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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