[发明专利]高精度光路准直反射镜调整机构及调整方法在审
| 申请号： | 202010655103.7 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111755936A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李红;张海青;姜卓偲;林强;刘代中;朱宝强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种适用于激光光路准直的高精度反射镜调整机构以及调整方法。机构包括：计算机控制系统、压电陶瓷驱动电源、步进电机驱动器步进电机、柔性联轴器、圆柱销、由丝杠和螺母组成的运动副、位于该丝杠顶端的压电促动器、连杆、以及分别连接在该连杆两端的复位弹簧和反射镜；所述的丝杠和螺母组成的运动副将步进电机的旋转运动转化为所述丝杠的直线运动，从而实现所述连杆绕点O1的转动，则同时带动反射镜实现绕点O2的转动，从而最终实现反射镜的角度α调节。步进电机负责大行程误差的调整，压电陶瓷负责微小量误差的调整，同时还可以利用压电陶瓷的位移量补偿执行机构的反向间隙问题。实现高功率激光装置光路高效、高精度的自动准直。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 光路准直 反射 调整 机构 方法 | ||
【主权项】：
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