[发明专利]用于硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床有效
| 申请号： | 202010627443.9 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111805309B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张飞虎;李琛;张强;姚学练;朴银川 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B41/00;B24B49/12;B24B41/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 用于硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床，涉及机械设备技术领域。为解决现有的在对硬脆单晶圆柱外圆表面进行磨削时，采用的磨削液为碱性或者酸性，长期使用会腐蚀机床，导致对工件的装夹精度降低，加工出零件的表面精度降低，并且采用人工的方式进行上料，导致工作效率较低的问题。自动上料机构与自动分类及收纳机构呈相互平行分布，全自动磨床分别与自动上料机构和自动分类及收纳机构呈相互垂直分布，磨床基座的上表面一角处设有收纳机构基台，且收纳机构基台的上表面低于磨床基座的上表面，且用于放置自动分类及收纳机构。本发明适用于对硬脆单晶圆柱外圆面进行磨削加工。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硬脆单晶 圆柱 超声 振动 辅助 磨削 全自动 磨床 | ||
【主权项】：
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