[发明专利]一种暴露湿敏材料式湿度传感器在审
| 申请号： | 202010594403.9 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111707716A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种暴露湿敏材料式湿度传感器，底部金属板置于衬底上，顶部板为沿水平方向的之字形，顶部板的上表面设有周期性排列的楔形沟槽，介质层填充于顶部板与底部金属板之间，湿敏材料层置于顶部板上。应用时，湿敏材料层吸湿膨胀，改变顶部板的形貌，从而改变顶部板与底部金属板之间的电容，通过该电容的变化确定待测环境的湿度。在本发明中，湿敏材料层暴露在顶部板的上侧，与待测环境充分接触，所以具有响应速度快的优点。另外，因为电容器的电容对极板的形状和面积非常敏感，所以本发明还具有灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 暴露 材料 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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