[发明专利]一种嵌入式跨表面生长三维纳米线螺旋结构的制备方法有效
| 申请号： | 202010586908.0 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113247860B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 余林蔚;袁荣荣;马海光 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00;G01R33/34 |
| 代理公司： | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人： | 李奎锋 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种嵌入式跨表面生长三维纳米线螺旋结构的制备方法，该方法借助选择性刻蚀和沉积技术，以诱导金属纳米颗粒为引导颗粒，采用热蒸发或EBE方法有效控制引导颗粒的尺寸，采用IPSLS纳米线生长模式制备嵌入式跨表面生长三维纳米线螺旋，三维纳米线螺旋结构与上下两端金属电极形成回路，从而完成有效的电路连接；本发明在形成电流回路后会在螺旋结构内部及附近区域形成高度局域化的磁场，并有效控制尺寸至百纳米级别，可使得仪器的灵敏度和空间分辨率远远优过传统的磁性探测结构，为高速精准的生物磁信号探测提供了重要基础；可与平面微加工工艺兼容，可实现批量化制备，在微纳信息电子、生物医学等领域有很大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 嵌入式 表面 生长 三维 纳米 螺旋 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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