[发明专利]一种基于空气弹簧的大型精密隔振平台

摘要

一种基于空气弹簧的大型精密隔振平台，包括隔振实验室空间、负载平台1、垂直空气弹簧隔振器2、水平空气弹簧隔振器3、高速电磁伺服阀6、气动系统和控制系统。所述的负载平台下面板由垂直空气弹簧隔振器和水平空气弹簧隔振支撑；所述的垂直空气弹簧隔振器负责平台的正刚度静态负载和局部被动隔振；所述的水平空气弹簧隔振器负责平台的负刚度调节和主动隔振；通过正负刚度调节降低隔振系统的固有频率，同时垂直空气弹簧与水平空气弹簧隔振器结合构成主被动复合控制；所述的空气弹簧隔振器上分别设有反馈传感器，用于检测空气弹簧气腔压力和负载平台对应位置的加速度；所述的控制系统包括控制器、动力单元和伺服阀。