[发明专利]一种原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法与装置有效

专利信息
申请号: 202010581261.2 申请日: 2020-06-23
公开(公告)号: CN111721599B 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 曹路;宋凤麒 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N23/04;G01N23/20;G01N21/31;G01N21/33;B82Y30/00
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法,使用流动的低蒸气压液体在真空中收集飞行的原子级材料束流,以液相对准材料束流照射面积并收集材料束流,液相采用低蒸气压特种液体。启动材料源产生原子级材料束流;选择所需的原子及材料尺寸,优化条件使其的产生量达到最高。将材料束流经过聚焦后引导至液体收集装置前,对准液体收集皿的收集口;收集时启动液体收集装置,使液体载体,在收集皿中来回循环流动。
搜索关键词: 一种 原子 材料 空中 液体 收集 方法 装置
【主权项】:
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