[发明专利]一种承载晶圆的防翘曲装置

摘要

本发明公开了一种承载晶圆的防翘曲装置，其结构包括晶圆盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和调节定位装置，本发明通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部，便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动，使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动，并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强，通过横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合，便于进行限位滑动，保证滑动的稳定性。