[发明专利]晶背缺陷图检索及预警方法、存储介质及计算机设备在审
| 申请号： | 202010577051.6 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111754480A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 庄均珺;王泽逸;郭明;陈旭;王艳生 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N3/04;G06K9/62 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶背缺陷检测及预警方法、存储介质及计算机设备，通过自编码器神经网络对数据库中已知晶背缺陷图进行训练，得到晶背缺陷图检索模型并利用晶背缺陷检索模型提取已知晶背缺陷图的高维特征，并对其编码产生第一编码数据库；对于待检索晶背缺陷图，利用晶背缺陷图检索模型第二编码数据，利用最近邻算法在第一编码数据库中搜索第二编码数据；根据所述第二编码数据在第一编码数据库中存在与否，得出待待检索晶背缺陷图为未知缺陷预警还是已知缺陷类型。由此，不仅节约了人力成本，大大缩短了判断时间，提高了效率，而且，基于现有已知晶背缺陷图，提高了检索的精准率，降低了漏检率和误报率，为提高后续工艺的良率提供了重要保证。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检索 预警 方法 存储 介质 计算机 设备 | ||
【主权项】：
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