[发明专利]一种大面积二维氮化镓薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种大面积二维氮化镓薄膜的制备方法，以双温区管式炉作为反应装置，在管式炉内两个温区分别放置有内置尿素的瓷舟和涂覆有硝酸镓溶液的蓝宝石基底，在保护气氛条件下，分别对瓷舟和蓝宝石基底进行升温，控制升温速率在瓷舟处达到130～138℃同时蓝宝石基底处的温度为850～950℃，保温使尿素气体与蓝宝石基底的硝酸镓溶液分解产物气相沉积形成大面积二维氮化镓薄膜。本发明的大面积二维氮化镓薄膜的制备方法具有厚度可控性强、面积大、均匀性好和生长速度快的特点。