[发明专利]一种制备大面积钙钛矿薄膜的装置和方法有效
| 申请号： | 202010551482.5 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111710783B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 袁宁一;王书博;丁建宁 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | H10K71/12 | 分类号： | H10K71/12;H10K71/40;H10K30/10 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 谢新萍 |
| 地址： | 213164 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳电池技术领域，尤其涉及一种制备大面积钙钛矿薄膜的装置和方法。装置包括真空腔体以及快速抽真空泵组，真空腔内设有带小孔的金属平面电极，金属电极后排列红外石英加热管,红外辐射通过小孔能起到均匀红外光的效果。平面电极和基底中间还有用于降低等离子轰击效果的金属网。真空腔体还带有一个补充惰性气体的微量控制阀门。经过旋涂或者涂布的钙钛矿湿膜进入腔体后，腔体快速降低压强到5Pa左右，湿膜中的溶剂大部分挥发，此时开启微量阀门补充惰性气体，维持腔体压强稳定，开启射频电源，形成等离子体，促进薄膜结晶，之后，腔体放气，然后开启红外辐射1‑5分钟进一步促进钙钛矿的生成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 大面积 钙钛矿 薄膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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