[发明专利]一种纸基底碲化铋基纳米线柔性热电偶型温度传感器的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010543563.0 申请日: 2020-06-15
公开(公告)号: CN111816753B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 高杰;朱思靖;苗蕾;蔡焕夫;赖华俊 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: H01L35/34 分类号: H01L35/34;H01L35/32;B82Y15/00;B82Y40/00
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 蒋欢妹;莫瑶江
地址: 541004 广西壮族*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了一种纸基底碲化铋基((Bi,Sb)2(Te,Se)3)纳米线柔性热电偶型温度传感器的制备方法,通过设计P型及N型碲化铋基(Bi,Sb)2(Te,Se)3纳米线薄膜的垂直交叉阵列结构使得单位面积上的温度测量节点数大大增加,工艺简单,制备周期短,安全无污染、能耗低,得到的温度传感器响应时间短,灵敏度高,柔性良好。
搜索关键词: 一种 基底 碲化铋基 纳米 柔性 热电偶 温度传感器 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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