[发明专利]石英退火炉在审
申请号: | 202010534625.1 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN111517627A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 刘旭勃;彭自兵 | 申请(专利权)人: | 五冶集团上海有限公司 |
主分类号: | C03B25/00 | 分类号: | C03B25/00;C03B20/00 |
代理公司: | 上海诺衣知识产权代理事务所(普通合伙) 31298 | 代理人: | 衣然 |
地址: | 201900 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例公开一种石英退火炉,包括炉体和台车,台车上端面安装轨道,炉体的下端放置在轨道上,炉体内部设置有内轨道,炉体的下端为承棉台,台车上安装保温棉,炉体安装保温棉,炉体内安装热电偶和若干个硅碳棒,退火炉的炉体顶部布置母线排,连接各个硅碳棒,硅碳棒与可控硅整流器连接,炉体的炉门位于炉体的端面,炉门上安装保温棉,本发明实施例温度偏差小,降温幅度小,能耗低,对石英设备纯度没有影响,操作方便,安全性更好,使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 石英 退火炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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