[发明专利]一种叉指埋栅型石墨烯光电混频器芯片及制备方法

摘要

本发明公开了一种叉指埋栅型石墨烯光电混频器芯片及制备方法，芯片包括石墨烯薄膜、叉指埋栅电极、漏电极和源电极；其中栅电极为微波本振信号输入口，光载射频信号通过光纤直接照射到器件石墨烯区域，由石墨烯吸收并进行光电转换，混频后的信号由漏电极输出。本发明的石墨烯光电混频器相比传统的磷化铟基和硅基光电混频器具有更广的光吸收波长范围、更宽的电学带宽；通过设计叉指埋栅结构能够有效提高光照射面积，并避免顶栅结构栅金属对光的反射，从而有效提高光的吸收效率；器件结构简单，可实现片上单片集成的光信号处理功能单元和芯片。