[发明专利]一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法有效
| 申请号： | 202010521671.8 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111649404B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘坤;关天恩;黄豫兴;郝明;陈树雷;巴德纯 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167;F24F11/74 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 李珉 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内部 气流 调节 洁净室 方法 | ||
【主权项】：
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