[发明专利]一种超薄镀膜光学晶圆及其制备方法在审
| 申请号： | 202010514934.2 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111580193A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王林;李菲;李延凯 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11;G02B1/10;C23C14/58;C23C14/22;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710018 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超薄镀膜光学晶圆及其制备方法，所述的光学晶圆包括一个超薄光学晶圆和镀制在超薄光学晶圆两个表面上的光学薄膜；通过将光学薄膜镀制在超薄光学晶圆的两个表面，形成超薄镀膜光学晶圆，能够降低对IR截止膜的透过率特性要求，缩短成膜时间；减薄单面镀膜的膜层厚度。光学晶圆的制备方法，在超薄光学晶圆的两个表面镀制一层或若干层光学薄膜，得到超薄镀膜光学晶圆，两面的光学膜层具有不同的分光性能，不同分光性能的膜层互相补偿，相同或者相近膜层设计叠加，可以达成膜层的总体分光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 镀膜 光学 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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