[发明专利]一种氧化锌铝靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010451973.2 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111439997B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余芳;朱刘;童培云;文崇斌 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氧化锌铝靶材及其制备方法。本发明以锌盐和铝盐为原料，通过共沉淀法制备氧化锌铝粉体，氧化锌铝粉体经预烧结、破碎、压制成型、二次烧结，得到氧化锌铝靶材，通过优化二次烧结曲线，能够有效去除靶材中的有机物，制备得到的靶材的相对密度不低于98％，碳含量不高于105ppm，电阻率小于9×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 铝靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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