[发明专利]二氧化硅微球三维全形貌检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 202010435506.0 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111474190A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;潘靖宇;王圣浩;倪开灶;徐天柱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N23/046 | 分类号： | G01N23/046;G01N15/00;G01B15/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种二氧化硅微球三维全形貌检测装置，包括X射线管、光栅G0、旋转台、光阑、波带片、光栅G1、光栅G2、闪烁体、显微物镜和接收器，适用于几到几十微米二氧化硅微球的三维全形貌检测，为提高检测的灵敏度，采用三个光栅，实现X射线相衬成像，为提高检测的分辨率，采用波带片与光阑相配合，实现X射线的显微成像旋转微球360°，对微球的所有投影面进行成像，获取微球投影面的相衬图像，再通过相衬图像计算出微球的断层图像，使用断层拼接软件，重构出微球的三维数字模型。该平台可对二氧化硅微球的三维全形貌，包括内部的结构进行检测，并且分辨率高成像对比度好，适用于微米量级的微球。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 三维 形貌 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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