[发明专利]一种薄膜面内热导率的测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010431708.8 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111458369B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王汉夫;褚卫国;郭延军;李晓军;徐波;王东伟;熊玉峰 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜面内热导率的测量装置及方法，所述装置包括样品单元、测量电路单元和数据采集分析单元；所述样品单元包括测量芯片，所述测量芯片包括镂空的芯片框架、支撑膜或复合膜、第一温度传感器和第二温度传感器；所述温度传感器均是由导电线、两个电流接线端及两个电压接线端组成，两条导电线平行设置；测量电路单元中的第一测量电路为三倍频电压测量电路，第二测量电路为两倍频电压测量电路。本发明通过样品单元的结构设计，采用不同的测量电路对温度传感器的温度波动信号进行检测，并结合适当的传热模型，考虑辐射热损失的影响，面内热导率具有较高的测量精度；所述样品单元的制作流程简单，可有效简化测量步骤并缩短测量时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 内热 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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