[发明专利]一种磨削工作台和晶圆减薄设备有效
| 申请号： | 202010430230.7 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111421412B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;王江涛;赵德文;李长坤;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/02;B24B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磨削工作台和晶圆减薄设备，包括：用于承载晶圆吸盘的安装板、转盘、气浮支撑结构和驱动机构，安装板固定在转盘上，转盘包括主体部和从主体部的边缘向下向外延伸形成的环状边缘部，气浮支撑结构在其上部的内侧具有用于间隙包围转盘的边缘部的环状凹槽，以使所述边缘部在转动时悬浮于所述凹槽内并在静止时紧压所述凹槽的下表面限制所述转盘移动，驱动机构与转盘连接以驱动转盘带动安装板旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 工作台 晶圆减薄 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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