[发明专利]一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备有效
| 申请号： | 202010425512.8 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111339693B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 魏伟;孙朋;罗昌杰;刘兆晶;解宇晨 | 申请（专利权）人： | 深圳市乾行达科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;C23F1/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 肖遥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请适用于工件制造技术领域，提供了一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备，该方法包括：在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取工件的第一重量；基于第一重量、第一次数和工件的参数信息，确定采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数；在采用第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取工件的第二重量；若第二重量大于预设重量范围，则提高蚀刻速度至第二蚀刻速度，并基于第二蚀刻速度蚀刻工件，直至工件满足预设重量范围；本申请通过获取工件的重量，进而通过重量计算蚀刻次数，避免了蚀刻中多次人工测量厚度，提高了工作效率和蚀刻精度，同时通过调整蚀刻速度可以使蚀刻的工件精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 蚀刻 方法 装置 终端设备 | ||
【主权项】：
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