[发明专利]适用于激光在线测厚的振动补偿方法有效
| 申请号： | 202010380375.0 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111504206B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 周华民;宋华雄;杨志明;张云;周军;王云明 | 申请（专利权）人： | 深圳市信宇人科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人： | 胡清方;彭友华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道回龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜制造加工过程中的在线检测领域，更具体的，涉及一种适用于激光在线测厚的振动补偿方法。该方法包括以下内容：(1)运用激光在线测厚系统，在同一测量环境下，对待测带材和高精度铜箔进行在线扫描测量；(2)带材和铜箔测厚数据中均包含扫描测量时的振动误差，铜箔制造精度高，数据中的误差大部分是由振动导致，而待测带材也受到了相似的振动影响；(3)对测厚数据进行频谱分析，观察数据频率组成信息；(4)对比分析待测带材和铜箔频谱的相似性，对数据进行适当处理，很好地去除了振动对在线扫描测厚的影响，实现了测厚数据的振动补偿和精度优化。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 激光 在线 振动 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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