[发明专利]一种线白光表面轮廓测量方法有效
| 申请号： | 202010249008.7 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111412861B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;朱琳琳;李栾;闫宁;房长帅 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种线白光表面轮廓测量方法，在成像光路中设置狭缝光阑，透过狭缝只有一个长方形的光条照射到被测样本上，在狭缝光阑作用下CCD摄像机拍摄到的图像仅有中间一个长方形白带，其他部分为黑色。当测量系统测量时产生的干涉图像被狭缝光阑截断，在长方形白带上只有部分干涉条纹，测量不同高度的被测物时，长方形白带上的干涉条纹随着不同的被测高度发生横向平移，通过对视野内的长方形白带进行测量，将沿着长方形白带的中点视为参考点，干涉条纹的相干峰在长方形白带中的横向移动量表现为垂直方向的高度，并配合外部轴系位移平台实现表面轮廓的跟踪扫描测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 表面 轮廓 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010249008.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空绝热体及冰箱
- 下一篇：一种斜拉桥刚构体系构造
