[发明专利]一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器及制备方法有效
| 申请号： | 202010198086.9 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111398872B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 刘明;胡忠强;周子尧;王志广;吴金根;程苗苗 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00;G01R33/038;G01R33/10 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器及其制备方法，包括固定底座、声表面波发生结构、悬臂梁结构和磁铁；悬臂梁结构的一端设置在固定底座的顶部，磁铁设置在悬臂梁结构的另一端；声表面波发生结构设置在悬臂梁结构表面；本发明的声表面波磁传感器通过引入扭矩效应，放大了磁场对声表面波中心频率的影响，有效的提高了声表面波磁传感器的灵敏度。这种新的声表面波磁传感器不仅使磁传感器的灵敏度提高近十倍，而且不需要额外的直流偏置磁场，这就使传感器的结构更加简单，而且减少了损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面波 扭矩 效应 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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