[发明专利]一种激光器波导宽度的测量方法有效
| 申请号： | 202010192823.4 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111366115B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 郝润豹;方瑞禹 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光器波导宽度的测量方法，晶圆表面依次生成电介质层、光刻胶层；对光刻胶层曝光，使得光刻胶层附有掩膜版图形，掩膜版图形包括多个独立的脊图形，相邻两个脊图形的第一宽度差为定值；对附有掩膜版图形的光刻胶层显影；依次刻蚀去除显示区域的电介质层、显示区域外的剩余区域的光刻胶层、显示区域的晶圆以及显示区域外的晶圆，得到多个倒梯形脊波导；根据第二宽度差得到所需测量的倒梯形脊波导的底部宽度。设计掩膜版图形，将掩膜版图形复制到晶圆上刻蚀，得到多个倒梯形脊波导；根据第二宽度差得到所需测量的倒梯形脊波导的底部宽度，无需再通过切片进行测量，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 波导 宽度 测量方法 | ||
【主权项】：
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