[发明专利]一种压力传感器泄露测试装置及操作方法

摘要

本发明公开了一种压力传感器泄露测试装置及操作方法，包括台架、氦质谱检测仪和氦气源；台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位，安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；传感器测试工位分别管路连接氦质谱检测仪、氦气源和真空泵柜；电控机柜电连接传感器测试工位、真空泵柜、氦质谱检测仪和氦气源。待检测压力传感器放置于传感器检测工位上，氦气源向传感器检测工位中注入氦气，真空泵柜对传感器检测工位进行抽真空，使得待检测压力传感器两侧形成压力差，并利用氦质谱仪检测待检测传感器抽真空一侧是否有氦气存在，如果存在，则说明待检测压力传感器存在泄漏情况。通过电控机柜同时控制若干个传感器检测工位进行检测，提高了工厂的检测效率。