[发明专利]玻璃基板涂布方法及玻璃基板涂布装置有效
申请号: | 202010170512.8 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111187008B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 王松 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种玻璃基板涂布方法,包括装置提供步骤、玻璃基板设置步骤、扩展板并拢步骤、涂布步骤、以及扩展板移除步骤。本发明方法透过在涂布涂布层到玻璃基板上时将所述涂布层的厚度不均匀的起始部及结束部分别涂布到两扩展板上,最后透过移除扩展板的方式移除所述起始部及所述结束部并仅留下厚度均匀的均厚部,使得所述玻璃基板上所述涂布层能够具有均匀一致的厚度,进而提升了玻璃基板的光阻剂涂布效果。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 基板涂布 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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