[发明专利]一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法有效
| 申请号： | 202010169948.5 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN111468824B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘敏;郑柳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 周娟 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法，涉及光电技术领域，以减小光束的聚焦焦深，降低光束对材料的损耗。所述光束聚焦装置包括导向单元和聚焦单元。其中，导向单元用于将光束转换为环形空心光束。聚焦单元用于对环形空心光束进行聚焦。所述激光聚焦系统包括激光导向装置和上述技术方案所提供的光束聚焦装置。本发明提供的光束聚焦装置用于材料剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 聚焦 装置 激光 系统 方法 材料 剥离 | ||
【主权项】：
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