[发明专利]真空泵系统有效
| 申请号： | 202010141869.3 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111828362B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 木村裕章 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题在于准确度良好地推断堆积物的堆积状态。真空泵包括：真空计(110)，检测自吸气口吸入的气体向排气口(65)流动的气体流路的气体压力；以及推断部(24)，基于由真空计(110)检测到的气体压力，推断堆积于气体流路中的堆积物的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010141869.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
