[发明专利]一种钼铝钼和ITO/Ag/ITO兼容蚀刻液及制备方法有效
| 申请号： | 202010119330.8 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111334298B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C23F1/26;C23F1/20;C23F1/30 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 张春合 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钼铝钼和ITO/Ag/ITO兼容蚀刻液及制备方法，所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括无机酸磷酸55‑75％、硝酸2.5‑5％、醋酸12‑28％，表面活性剂1‑8％，复配型金属抑制剂0.1‑5％，保护剂0.1‑5％和余量的纯水；所述复配型金属抑制剂为钼酸盐、硝酸盐、巯基苯并噻唑、月桂酸和硫醇苯并噻唑中的至少两种物质的复配混合物；各组分重量百分数之和为100％。本发明通加入复配型金属抑制剂使蚀刻速度具有可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的金属膜，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钼铝钼 ito ag 兼容 蚀刻 制备 方法 | ||
【主权项】：
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