[发明专利]一种微机械压电式圆盘谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010095279.1 | 申请日： | 2020-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN111200411A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 赵继聪;诸政;孙海燕;宋晨光;孙玲 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 江苏隆亿德律师事务所 32324 | 代理人： | 倪金磊 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机械压电式圆盘谐振器，包括压电式器件及底部支撑结构，压电式器件包括顶部输入电极、底部接地电极以及设于顶部输入电极和底部接地电极之间的压电振动层；底部支撑结构包括基底及固定于底部接地电极底部中心位置与基底与之间的支撑锚，支撑锚为材料选自低阻硅。本发明优化了锚点设计，将传统的侧向支撑结构改为中心支撑，具有更小的锚点损耗、更高的品质因数，器件性能更加优越。基于此，本发明还提供了上述圆盘谐振器的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 压电 圆盘 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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