[发明专利]一种新型高过载差压传感器

摘要

本发明属于测量仪表技术领域，具体涉及一种新型高过载差压传感器。本发明芯片基座安装在正压基座顶部中心位置的凹槽内，芯片基座内部粘有单晶硅差压芯片；芯片基座上烧结两个充油管，分为正压端充油管和负压端充油管；正压基座和负压基座内部开有油路，中心过载膜片安装在负压基座与正压基座之间，将正压基座和负压基座内的油路分为正压油路和负压油路，正压油路和负压油路的容积相等；通过正压端充油管将正压油路腔充硅油，通过负压端充油管将负压油路腔充硅油，充油完成后，通过氩弧焊接将正压端充油管和负压端充油管堵死密封。本发明保证正压端和负压端油路体积相等，从而达到单晶硅差压芯片精度稳定，提高传感器的稳定性。