[发明专利]快速量测模组在审
| 申请号： | 202010090275.4 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN113251960A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王祯仪;谢宗廷;丝国一 | 申请（专利权）人： | 大银微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;B23Q17/24 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明所提供的快速量测模组将一第一距离感测单元与一第二距离感测单元分别设置在一移动座上，以在该移动座沿着一直线的移动轴方向进行位移时，得以该第一距离感测单元感测与一第一基准平面间的距离，同时以该第二距离感测单元感测与该一第二基准平面间的距离，以感测该移动座相对于该第一基准平面与该第二基准平面进行移动的直线精度。其中，该第一基准平面与该第二基准平面彼此间相隔的角度并非平角，通过此即可经由感测得知该移动座在两个不同平面上的直线移动精度，例如水平直线精度与垂直直线精度。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 模组 | ||
【主权项】：
暂无信息
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