[发明专利]双涂覆器流体分配方法有效
申请号: | 202010086331.7 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN111495684B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 克里斯托弗·L·朱斯蒂;菲利普·P·马约尔卡;马克·S·迈尔;大卫·N·帕吉特 | 申请(专利权)人: | 诺信公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 沈同全;车文 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种双涂覆器流体分配方法,所述方法包括:a.捕获被设置在多个电子衬底的XY平面上的多个分配区域的至少一个图像;b.识别与各个分配区域相关联的参考基准;c.基于所识别的参考基准,确定在每一个分配区域处的分配位置;d.在确定所述多个分配区域中的每一个分配区域处的所述分配位置之后,选择第一和第二分配区域;e.在选择第一分配区域和第二分配区域之后,在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案;f.在确定每个分配区域处的所述分配位置之后,以及在第一和第二分配区域处分配第一和第二流体图案之后或之前,选择第三和第四分配区域;和g.在选择第三和第四分配区域之后,在第三和第四分配区域处分配第一和第二流体图案。 | ||
搜索关键词: | 双涂覆器 流体 分配 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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