[发明专利]一种曲面基底衍射光学元件测量方法在审
申请号: | 202010084517.9 | 申请日: | 2020-02-10 |
公开(公告)号: | CN111256588A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 张效栋;朱琳琳;董禹初 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/24 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 程毓英 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种曲面基底衍射光学元件测量方法,包括以下步骤:测量系统搭建;色谱测距传感器找正;测量数据获取:色谱测距传感器沿被测的DOE的基底轮廓中心线以恒定的速度与采样频率采集测量数据,所获得的测量数据是沿着被测DOE工件设计基底“展开”的含高度信息的数据点云,即将被测DOE工件的DOE曲面基底延展成平面;测量数据前处理:对测量数据进行中值滤波前处理以减小测量数据中包含的误差;获得设计模型沿基底展开的数据:将DOE的设计模型沿基底中心线展开,获得一条分布有DOE设计面形中心轮廓信息的直线;经过中值滤波测量数据与设计模型数据的优化匹配;得到包含实际尺寸信息的测量数据。 | ||
搜索关键词: | 一种 曲面 基底 衍射 光学 元件 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学,未经天津大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010084517.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。