[发明专利]一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法在审
| 申请号： | 202010083823.0 | 申请日： | 2020-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN111208608A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;蒋建光;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 浙江大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法，包括两个环节：第一个环节用离子交换法在玻璃基片的表面制作掩埋条形离子掺杂区；第二个环节是将玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散。将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区的玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散，利用玻璃基片内沿掩埋条形离子掺杂区长度方向的温度梯度，使玻璃基片中沿掩埋条形离子掺杂区长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度，将掩埋条形离子掺杂区变成掩埋锥形离子掺杂区。这种掩埋锥形离子掺杂区的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善，因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善，器件插入损耗降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子交换 玻璃 掩埋 波导 转换器 制作方法 | ||
【主权项】：
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