[发明专利]旋转清洗装置

摘要

提供旋转清洗装置，其确保干燥的被清洗物不会再次沾湿。旋转清洗装置(1)具有：能够水平移动的喷嘴(60)，其喷射清洗水与空气的混合液；飞散防止罩(5)，其围绕工作台(30)，以便使欲从旋转的工作台飞散的混合液向下方流动；以及单元(16)，其使防止罩升降。防止罩包含：环状的围绕板(51)，其形成为剖面从能够供工作台通过的开口(50)呈逐渐展开状倾斜；侧板(52)，其包围围绕板，在工作台升降方向上延伸；以及上板(53)，其将侧板和围绕板连接，该旋转清洗装置还具有飞散防止部(7)，在从喷嘴喷射空气而使清洗后的被清洗物外周缘(Wd)干燥时，为了使上板的上表面上所积存的水不飞溅，该飞散防止部使空气的势力不作用于上板的上表面上所积存的水。