[发明专利]探针卡及WAT测试机台有效
| 申请号： | 202010078678.7 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111257605B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 徐晶;肖尚刚;周波 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;B08B13/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种WAT测试机台，包括WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；第一风源，其形成在所述测试头顶部；第二风源，其形成在所述顶部；第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁；其中，所述测试头中心设有第一风道，测试机台柜右侧壁和探针卡装载柜左侧壁密闭相邻且其间形成有第二风道。本发明克服了WAT测试机台现有技术方案带来的弊端，有效提高了晶圆的测试洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 wat 测试 机台 | ||
【主权项】：
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