[发明专利]清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统有效
申请号: | 202010070324.8 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111309314B | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 郭训容 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G06F8/33 | 分类号: | G06F8/33;G06F8/34 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种清洗设备的配置生成方法及清洗设备的配置生成系统,该方法包括:获取用户端输入的行业类别、槽类别以及槽总个数;根据所述行业类别,确定一特定行业;根据所述行业类别、槽类型以及槽总个数,确定出与所述特定行业相关的一槽类型组合;根据所述槽类型组合,确定出与所述槽类型组合相对应的至少一种槽名称;根据所述槽名称,确定出一槽结构文件名;获取用户端输入的与所述槽名称及所述槽结构文件名相对应的多个参数信息;基于所述多个参数信息,生成工艺配置文件。通过本发明提高了清洗设备配置的通用性。 | ||
搜索关键词: | 清洗 设备 配置 生成 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司,未经北京北方华创微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010070324.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。