[发明专利]一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置有效
| 申请号： | 202010066540.5 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111229727B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 白清顺;窦昱昊;张祎晨;谢成浩;牛龙飞;苗心向 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;B03C3/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 静电 耦合 实现 光学 元件 表面 洁净 装置 | ||
【主权项】：
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