[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010066357.5 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111180104B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赖胤龙;严绍熙;周丽珍;张伟;罗建民;张圣领 | 申请（专利权）人： | 韶关学院 |
| 主分类号： | H01B1/08 | 分类号： | H01B1/08;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 程毅 |
| 地址： | 512005 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种透明导电薄膜，所述透明导电薄膜由若干层氧化钛薄膜与若干层氧化钽薄膜交替叠加而成，其中氧化钛与氧化钽的比例为10：1‑30：1。本技术方案所述的透明导电薄膜电阻率低，性能优良，为一种全新的金属氧化物透明导电薄膜材料。本发明还包括一种透明导电薄膜的制备方法，使用原子层沉积法，在若干层氧化钛薄膜上叠加若干层氧化钽薄膜为一个循环，进行若干次所述循环后便得到所述透明导电薄膜。使用原子层沉积法可以在低温下实现金属氧化物膜的沉积，可以通过沉积的层数精确控制金属氧化物之间的比例，可以通过循环次数精确控制薄膜厚度，且具有良好的均匀性及重现性，可以稳定的进行大面积沉积，并得到质量稳定的导电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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