[发明专利]一种高可靠性发光二极管电极的制备方法在审
| 申请号： | 202010057467.5 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN113140658A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 吴向龙;闫宝华;彭璐;王成新;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/38 | 分类号： | H01L33/38;H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 261061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高可靠性发光二极管电极的制备方法，该制备方法包括以下步骤：(1)在制备好的LED外延片的表面制作牺牲层，牺牲层的倒角为30‑60°；(2)在牺牲层的表面蒸镀第一电极层；(3)升温加热，改变牺牲层的倒角；(4)在步骤(3)处理后牺牲层的表面蒸镀第二电极层；(5)去掉牺牲层。该制备方法通过改变牺牲层的倒角来调控第一电极和第二电极的制备过程，易于操作，节约成本，可有效提供电极的可靠性；且两次电极蒸镀之间无需将晶片从蒸镀腔中取出，避免了两侧蒸镀污染导致的电极隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 发光二极管 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
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