[发明专利]一种基于等腰三角闪耀光栅结构的位移传感器在审
| 申请号： | 202010050875.8 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111207673A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光;李孟委;亓杰;张瑞;金丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于等腰三角闪耀光栅结构的位移传感器，所述激光器设置在光栅的一侧，所述激光器发出的线偏振光经光栅反射并衍射出衍射光，所述第一反射镜、第二反光镜分别设置在±3级衍射光的光路上，所述±3级衍射光分别经过第一反射镜、第二反光镜交汇在分光镜上，所述第一反射镜与分光镜之间设置有半波片，所述分光镜的一侧依次设置有四分之一波片、第一偏振片、第二探测器，所述分光镜的另一侧依次设置有第二偏振片、第一探测器。本发明通过采用高级次衍射光提高了位移测量灵敏度，且本发明通过设计等腰三角闪耀光栅结构提高了三级次衍射光的衍射效率，实现了高对比度的信号输出。本发明用于位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 等腰三角 闪耀 光栅 结构 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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