[发明专利]基于三蝶烯衍生物单分子树脂的合成、正性光刻胶及其在光刻中的应用有效
| 申请号： | 202010049066.5 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113200858B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 李嫕;胡盛文;陈金平;于天君;曾毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C07C68/06 | 分类号： | C07C68/06;C07C69/96;C07C67/31;C07C69/712;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 谢蓉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一类基于三蝶烯衍生物的新型单分子树脂及其制备方法和应用。该树脂的玻璃化温度高，具有较好的稳定性、分子尺寸小且单一等特点，能广泛的应用于光刻领域，尤其是在正性光刻胶中的应用。使用本发明制备的正性光刻薄膜或正性光刻胶组合物，在电子束光刻和极紫外光刻中具有更好的优势。本发明的三蝶烯衍生物的合成过程简单，反应中间体和终产物分离纯化方便，适用于工业化生产，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 三蝶烯 衍生物 分子 树脂 合成 光刻 及其 中的 应用 | ||
【主权项】：
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